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不锈钢真空泵的密封安装要求

点击次数:   更新时间:22/12/05 15:08:12     来源:www.newsdigs.com关闭分    享:
  不锈钢真空泵不能在大气压下工作,所以它需要预真空。一些不锈钢真空泵的出口压力低于大气压力,因此需要前级泵,所以所有的泵都需要组合使用。如果严格要求无油设备,应选用各种无油泵,如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵和一些防油污措施,如安装冷阱、挡板、集油器等,还能满足洁净真空的要求。
  在其工作压力下,不锈钢真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体。由于该产品需要选择性泵送,有时一台泵无法满足泵送要求,需要几台泵组合起来,相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气有很高的抽速,但不能抽氦,而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气有一定的抽速。如果将两个泵结合起来,真空装置将获得更好的真空度。
  不锈钢真空泵应安装在坚实的地面上,周围有足够的空间,以便于检查和维护。基础标高应保持在真空泵底座以下,建议在底座的四个角上安装减震橡胶或用螺栓浇注,以确保不锈钢真空泵的平稳运行和低振动。

  与不锈钢真空泵系统的连接管道应密封可靠。管道金属垫片可用于小型真空泵,真空软管可用于小型真空泵,管道直径不应小于吸入直径,要求管道短,弯头少。

不锈钢真空泵

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